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本文標題:掃描電子顯微鏡機構組成

信息分類:站內(nèi)新聞　新聞來源：未知發(fā)布時間：2014-4-7 12:42:08

掃描電子顯微鏡機構組成

掃描電子顯微鏡由三大部分組成：真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像

系統(tǒng)。掃描電子顯微鏡真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。

真空泵用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機泵、擴散泵以及渦分子泵三

類，但對于發(fā)射槍或鑭槍，則需要機泵加渦分子泵的組合。

成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。真空柱底端即為密封，用

于放置樣品。所以原電子束系統(tǒng)中的燈絲氧化而失效，還需要以純

氮氣或惰性氣體充滿整個真空柱。

為了增大電子的平均自由程，從而使得用于成像的電子更多。電子束

系統(tǒng)由電子槍和電磁透鏡兩部分組成，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極

窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成像。

電子槍用于產(chǎn)生電子兩類，一類是利用發(fā)射產(chǎn)生電子，稱為場致發(fā)

射電子槍。需要小極高真空。不需要電磁透鏡系統(tǒng)。

另一類則是利用熱發(fā)射產(chǎn)生電子，成像不如其他兩種明亮，常作為標

準配置。需要略高于鎢槍的真空產(chǎn)生過度飽和和熱激發(fā)問題。

電磁透鏡熱發(fā)射電子需要電磁透鏡來成束，所以電磁透鏡必不可少。