本文標(biāo)題:原子力顯微鏡利用光學(xué)檢測(cè)法

原子力顯微鏡利用光學(xué)檢測(cè)法

原子力顯微鏡利用光學(xué)檢測(cè)法或隧道電流檢測(cè)法，可測(cè)得微懸臂
對(duì)應(yīng)于掃描各點(diǎn)的位置變化獲得信息。

激光檢測(cè)原子力顯微鏡掃描探針顯微鏡家族中最常用的一種，說(shuō)
明其工作原理。

原子力顯微鏡二極管激光器發(fā)出的激光束經(jīng)過(guò)光學(xué)系統(tǒng)聚焦在微
懸臂背面，并從微懸臂背面反射到由光電二極管構(gòu)成的光斑位置
檢測(cè)器。

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